擴散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的真空泵之一。擴散泵是一種次級泵，它需要機械泵作為前級泵。
通常擴散泵的性能是以極限真空、最大反壓強、抽氣速率以及設置冷阱或低溫擋板而定。
1.極限真空
如果對一般油擴散泵的結構進行改進，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進噴嘴角度設計，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴散泵性能大大改善，極限真空可達到更低的壓強。
2.最大反壓強
最大反壓強是指擴散泵所允許的前置壓強最大值。如果前級泵所產生的壓強高于最大反壓強，則擴散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴散泵的抽速可根據氣體分子運動理論來推算出來。
4.設置冷阱及低溫擋板的原因
由于擴散泵噴嘴噴出來的油蒸氣分子，大部分由泵壁冷凝，這是因為泵壁外設置冷卻水套或冷卻管道的緣故。但是有少部分蒸氣分子被泵壁反射，散射會返回被抽空間，這種現象在低溫實驗室中要特別注意。如在擴散泵和被抽容器之前加上冷阱或低溫擋板，這樣就能使返加的蒸氣被冷凝下來，截止了油蒸氣的返流。
影響油擴散泵性能的因素如下。
1、油擴散泵的返流。
2、氣體分子的反擴散。
3、擴散泵油的裂化分解，一般擴散泵對其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內（室溫下0.00000001Pa左右），受熱穩定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點的液體，如硅油是擴散泵中比較理想的工作油。
4、泵清洗不干凈，污染物質留在泵內并重復循環，影響其真空度。
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