真空熱處理是材料改性、先進制造技術的重要領 域，厲于高梢度、優質、節能和淸潔無污染的材料熱 處理加工技術。真空熱處理設備又稱真空熱處 絕大部分是采用電阻加熱的真空電阻爐。
真空熱處理的作用
(1)真空的保護作用一般的金屬材料在氧、水蒸氣和二氧化碳等氧化性氣體^時，由于發生氧化作用，金屬表面產生氧完全失去原有的光 澤。同時這些氣體還要與中的碳發生反應，使其 表面脫碳。如果加熱爐中含有一氧化碳或甲烷氣體， 還會使金屬表面增對于化學性質非常活潑的鈦、 鋯以及難熔金鉬、鉭、鈮等，在空氣中加熱， 除了生成氧氫化物、氮化物外，這些氣體向金 屬內部使金屬的性能嚴重惡化。氧化，脫碳，增碳及腐蝕等過程，即使在鹽浴爐中加熱有時也也難避免。
真空熱處理是在稀薄氣氛中進行的熱處理。根據氣體分析，真空爐內殘存的如水蒸氣、二氧化碳 及油脂等有機物蒸氣含量非常少，以使被處理的 金屬材料產生氧化、脫碳、碳等作用.因此金厲表 面的化學成分和原有表面粗糙度可保持不變。可見真空不但對工件加熱起到保護作用，還使表面粗糙度不變，故稱為光亮熱處理。
(2)表面凈化作用在金屬表面上經常會附著氧化物、氮化物、氫化物等物質。在真空中加熱時，這些化合物因被還原分解或揮發而消失，從而使金屬獲得光潔的表面。
(3)真空除氣作用在真空爐中進行熱處理時， 金屬工件中的氣體被脫出，從而提高了工件的性能。 原因是在大氣中冶煉金屬時，液態金屬要吸收H2、 02、N2 ，。同時金屬對氣體的溶解度隨溫度的提高而加大，隨溫度的下降而減少，液態金厲冷卻成型時，氣體在金屬中的溶解度下降，但由于冷卻速度太快，溶解在金屬中的氣體無法完全釋放出來， 而被留在固體金屬內部，生成氣孔、氣泡等缺陷，同時也是鋼產生氫脆的原因，吸收氣體的金屬如果在空氣中加熱，各種氣體會被金屬溶解和吸收。
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